仪器包括高精度光栅装置、密珠导轨的测量杆装置、高性能的高速采样等。
高度计采用高精度光栅作为测量基准，选用玻璃基体的增量式光栅尺，所以测量支持大测量范围，对震动和冲击不敏感，并具有确定的温度特性。
增量光栅尺的扫描方法为光电扫描，因此无机械接触也无磨损。电子设备对输出信号进行细分至纳米级的极小测量步距，从而确保一个信号周期内微小位置误差。